由于垃圾焚燒的特性，其焚燒尾氣的組分負責，顆粒物組成不夠穩定，經常會引起顆粒物監測儀數據不準確。引起顆粒物監測儀測量不準確的原因及解決方法如下。

1.煙氣流動不穩定、分布不均

只有穩定的煙氣流動才能得到準確的測量結果，這時的測量結果具有代表性。顆粒物是具有一定質量的固態污染物，在管道里移動過程中受到風力、重力和離心力的綜合作用，容易產生濃度波動、分層和徑向差異。換而言之，在湍流中的顆粒物測定容易產生不同程度的波動和誤差。因此，正確選擇顆粒物CEMS的測量點，可以在很大程度上克服這種效應，尤其是具備足夠長的垂直管段是安裝顆粒物監測儀最恰當的點位；同時，還應注意手工相關校準的取樣口不能遠離顆粒物CEMS監測點，且一定要在監測點的下游。

2.氣幕保護不足或保護氣質量不好

目前，顆粒物CEMS監測儀采用的測量方式主要是直接測量方式，因此同氣態污染物直接測量一樣也需要穩定、干凈的保護氣對顆粒物測量鏡面進行有效的氣幕保護。保護氣必須是無塵、無油、無水的潔凈氣體，用于隔絕高溫煙氣和避免煙氣對光學鏡頭的污染及腐蝕。檢測儀表的量程越低，對保護氣的純凈要求就越高。不能忽視保護氣質量對儀器正常運行的影響，事實上，許多顆粒物監測儀運行不理想，并非是儀表質量或者測量的問題，恰恰是保護氣含塵、含油、含水等質量不好或者氣壓、流量不足所造成的。垃圾焚燒由于其更加惡劣的煙氣環境和復雜的煙氣成分對煙氣顆粒物監測儀的保護氣品質和氣幕保護能力要求更高。

3.霧狀水滴干擾測量

垃圾焚燒排放煙氣的一個重要特點是水分含量高，一般超過20％(體積分數)，有時甚至會達到40%(體積分數)。高濕條件下，當煙氣溫度下降時高露點的煙氣很容易形成霧狀水滴。光學式顆粒物監測儀會將霧狀水滴視同固體顆粒物進行監測，導致測量信號嚴重失真，形成很大的測量誤差。當遇到霧狀水滴干擾測量的情況時，可以采用兩種解決方案：一種方案是增加手工采樣相關校準的頻率，實現對顆粒物的有效校準，但是高濕條件下手工采樣分析的難度也很大，且準確程度也有所下降；另一種方案就是改變現有顆粒物直接測量的方式，也采取類似氣態污染物一樣的抽取測量方式，將煙氣顆粒物保溫伴熱抽取出來，通過升溫加熱霧化將煙氣中的水汽除去，然后在通過光散射或其他測量方法對干煙氣所含顆粒物進行測量，這種方式的儀器設備目前在進口產品中已經開始出現，將有效解決目前垃圾焚燒等行業排放高濕煙氣中霧狀水滴對顆粒物連續自動監測干擾的問題，實現高濕煙氣顆粒物的準確測量。