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關于垃圾焚燒煙氣CEMS中溫度的監測與傳統CEMS基本相同，一般采用熱電阻/鉑電阻方式。將來自熱電阻、電阻式傳感器、熱電阻和電壓傳感器的信號轉換成數字信號，測量溫度范圍為0-300℃，傳感器采用硬接線方式將采集的數據傳給數據處理單元。

1垃圾焚燒煙氣CEMS中煙氣壓力測量一般采用擴散硅法原理的壓力傳感器。硅單晶材料在受到外力作用產生極微小應變時，其內部院子結構的電子能級狀態會發生變化，從而導致其電阻率劇烈變化（G因子突變）。用此材料制成的電阻也就出現極大的變化，這種物理效應稱為壓阻效應。利用壓阻效用原理，采用集成工藝技術經過摻雜、擴散，沿單晶硅片的特點晶向，制成應變電阻，構成電橋，利用硅材料特性，再進行加工制成一個傳感器，給傳感器安裝上相關配件，使之輸出一個標準信號。

2垃圾焚燒排放煙氣流速的測量通常采用的還是皮托管法，比如S型皮托管是由兩根相同的金屬臂并聯組成，測量端為兩個大小相等、方向相反的開口。測量煙氣壓力時，一個開口面向氣流，測定氣流的全壓；另一個開口背向氣流，測定氣流的靜壓。由于背對氣流方向測得的靜壓比氣流實際靜壓值小，因此，S型皮托管的皮拖管修正系數一般為0.84±0.01，在使用前必須用標準皮托管進行校正。S型皮托管開口較大，減少了被塵粒堵塞的可能性，適用于固定污染源監測的使用。