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     常見的腐蝕性氣體有氨氣、氯氣、二氧化硫、三氧化硫、硫化氫、氟化物、氮氧化物等，特別是這些氣體與水發生化學反應后產生極強的耐酸性物質，如氯氣與水生成鹽酸和次氯酸、硫化物與水生成硫或稀硫酸，氟化物與水生成氫氟酸等，都將產生很嚴重的腐蝕。

     樣品處理系統的金屬管材、接頭、閥件及其他各種部件，與腐蝕性樣品接觸的材質大多可采用316不銹鋼。但在某些場合不銹鋼也會被腐蝕，必須選擇其他的耐腐蝕材質，如鈦合金。

     含氯及氯化物的氣體樣品，由于濕的含氯樣品會產生鹽酸和次氯酸，316不銹鋼可耐干的含氯樣品的腐蝕，而不耐鹽酸及次氯的腐蝕，濕的含氯樣品必須采用其他耐腐蝕材質。金屬材質中只有哈氏合金、鈦材等可以耐濕氯腐蝕，但價格昂貴。采用塑料管材（PVC氟塑料）可耐濕氯腐蝕，但耐溫、耐壓及密封性能遠不如金屬材質，并易老化。因此，對含氯樣品應采取保溫在樣品的露點之上，使樣品處于干的狀態；濕的含氯樣品可采取先降溫除水，再保溫傳送方法，可延長316不銹鋼的使用壽命。

    316不銹鋼也不能用于濕的含氧化物的樣品。

    鋁合金也適用于含微量二氧化硫及氮氧化物樣品的使用。