煙氣CEMS的比對監測是檢測現場安裝的CEMS工作性能的最直觀的體現，進行比對監測，才能反映出煙氣CEMS正常工作狀態下，監測設備的相對真實性能狀況。

固定污染源煙氣CEMS的比對監測是指：

在排污企業正常生產的條件下，在固定污染源排放現場，采用國家規定的參比標準測試方法對該污染源污染物排放情況進行測試；測試完成后，將手工參比測試結果與同一時間段同一位置安裝運行的煙塵煙氣CEMS儀器的監測結果進行比較，從而對現場安裝使用的CEMS儀器監測結果進行有效性判別的監測數據質控過程。

在CEMS出具有效數據的全過程外部質控程序中，CEMS“比對監測”作為這個質量控制過程中的末端控制環節，是CEMS數據外部質控過程中的重要環節之一。對控制CEMS數據質量，提高數據有效性起到至關重要的作用；同時也說明，CEMS“比對監測”必須以完成前兩個階段的適用性檢測和調試、驗收檢測的工作為前提條件，如果前兩個階段的質量控制不合格或沒有前面的過程，那么“比對監測”也就失去意義了。

CEMS比對監測的主要目的是監督考核安裝驗收后的煙塵煙氣CEMS日常監測分析的監測數據是否科學、有效，是否能夠成為環境管理部門進行污染源排放執法監督、排污收費核算以及總量減排考核等的主要參考依據。比對監測時，CEMS數據與參比方法測試數據不一致或差別較大時，應以參比方法的數據為基準，并對CEMS儀器進行檢查、調試、維護 校準等操作，直至其數據符合與參比方法的比對要求為止。