煙氣CEMS的比對監測是保證煙氣CEMS的數據質量，提高煙氣CEMS數據使用效率的一個重要的外部手段；同時也是CEMS數據質量控制過程中最重要的末端控制環節之一。因此，針對煙氣CEMS對比監測必須制定一套科學完備的、行之有效的內部管理質量保證和質量控制程序，以確保煙氣CEMS比對檢測的各項操作規范和比對監測取得的全部數據有效，提比對監測數據的可靠性，進而能夠真實、準確的反應目前再用CEMS儀器設備的運行使用狀態和數據質量狀態。

煙氣CEMS比對檢測的全過程包括：

1.煙氣CEMS比對監測前提條件：包括煙氣CEMS的適用性檢測、儀器調試檢測、驗收檢測、運營維護、檢測工作人員、參比儀器、監測方法；

2.煙氣CEMS比對監測準備工作：包括污染源情況考察、煙氣CEMS基本情況、參比儀器的校準維護、安全防護和通信儀器、實施方案；

3.煙氣CEMS比對監測現場采樣和監測工作：包括煙氣CEMS現場檢查、顆粒物比對監測、氣態污染物比對監測、煙氣流速比對監測、煙氣溫度比對監測；

4.煙氣CEMS比對監測數據匯總處理分析；

5.煙氣CEMS比對監測數據審核、報告和結果判定。